- Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
- Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM, Institutsteil Dresden
- Fraunhofer-Instituts für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwursautomatisierung EAS
- Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS in Dresden-Gruna und Dresden-Klotzsche
- Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
- Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
- Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Institutsteil »All Silicon System Integration Dresden« IZM-ASSID